国林科技（300786.SZ）5月30日在出资者互动渠道表明，公司电子级超纯臭氧气体发生器可发生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧，臭氧在电子工业范畴可被大范围的运用在构成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物成长、光 刻胶去除和多种清洁运用；公司暂未触及光 刻机事务。
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